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CIF中試型等離子清洗機CPC-10系列

產品參數

CIF推出全新一代 CPC-10系列實驗室型等離子體清洗設備, 改變傳統等離子體清洗設備設計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣品處理面積, 使用成本低, 性價比高, 處理快速高效, 特別適合于大學, 科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。
屬性
產品名稱
型號
廠商性質
訪問量
更新時間
詳情
CIF中試型等離子清洗機CPC-10系列
CPC-10/10plus
生產廠家
827次
2024-03-26

產品詳情

產品特點:

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監測工藝參數狀態,20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。

◆  PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

◆  石英真空艙,真空管路系統采用 316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

◆  采用質量流量計,實現對氣體輸入精準控制,改變傳統浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

◆  HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

◆  60 度傾角操作界面設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。

◆  頂置真空艙,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式,開關蓋方便。

◆  采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

◆  上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

◆  有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆  安全保護,艙門打開,自動關閉電源。

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